SK머티리얼즈에어플러스의 초고순도 액화탄산은 반도체 포토공정, 식음료, 의료, 용접 등 다양한 분야에서 활용되는 고순도 산업용 가스입니다. 반도체 제조에서는 포토공정의 정밀도를 높이고, 식음료 산업에서는 탄산음료 제조에, 의료 분야에서는 혈액·백신 보관 및 운송에 사용됩니다. 자체 정제탑을 통한 고도 정제 기술로 일반, 고순도, 초고순도 등 다양한 등급의 액화탄산을 생산·공급합니다.
반도체 포토공정에 사용되는 하드마스크 소재는 미세회로 패턴 형성 시 필수적인 정밀화학소재로, 제이엘켐은 초고순도 합성과 정제 기술을 바탕으로 높은 내식성과 우수한 패턴 전사 특성을 갖춘 제품을 제공합니다. 이 제품은 첨단 반도체 제조라인의 생산 효율과 수율 향상에 기여하며, 글로벌 반도체 기업에도 공급되고 있습니다.