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 패널이송장치  제품/서비스 검색 결과 : 1

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EFEM (Equipment Front-End Module) 시스템예랑테크(주)
EFEM시스템반도체공정자동화클린룸솔루션패널이송장치산업용로봇
반도체 및 디스플레이 제조공정에서 웨이퍼와 판넬의 입출고 및 이송을 완전 자동화하는 통합 제어 솔루션입니다. 중앙 집중식 실시간 모니터링과 클린룸 환경 제어 기능으로 생산 효율성을 극대화하며 고객 맞춤형 설계가 가능합니다.
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