파인세라믹스는 반도체 식각공정 등 전공정에 사용되는 소모성 부품(실리콘, 쿼츠 등)으로, 내열성·내식성·정밀가공성이 뛰어나 반도체 제조의 안정성과 생산성을 높입니다. SK엔펄스는 30년 이상의 연구개발을 통해 파인세라믹스 소재의 국산화와 품질 혁신을 이끌어왔으며, 국내외 반도체 제조사의 핵심 파트너로 자리매김하고 있습니다.
고순도 알루미나 원료를 고온에서 소결하여 제조한 소결알루미나는 제철·제강, 시멘트, 파인세라믹스 등 다양한 산업의 내화물 및 첨단 세라믹 소재의 핵심 원료입니다. 우수한 내열성, 내마모성, 화학적 안정성을 갖추고 있어 고온 공정의 내구성과 생산성 향상에 기여합니다. 국내외 시장에서 품질을 인정받아 안정적으로 공급되고 있습니다.
실리콘 전극은 월덱스가 자체 개발한 고순도의 실리콘 소재를 기반으로 하여 제작되며 주로 식각 및 증착 등 첨단 반도체 제조 공정에 필수적으로 사용됩니다. 탁월한 전기적 특성과 긴 수명을 바탕으로 글로벌 칩 제조사의 까다로운 품질 기준을 충족하며 생산 라인의 효율과 신뢰성을 보장합니다.
반도체 및 전자부품 제조 공정에 사용되는 알루미늄 나이트라이드(AIN) 소재의 히터로, 우수한 열전도도와 내플라즈마성을 갖추고 있습니다. CVD, PVD, Etching 등 다양한 반도체 공정에서 고온·고청정 환경을 구현하며, 정밀 온도 제어와 내구성이 뛰어나 반도체 장비의 핵심 부품으로 활용됩니다.
