한양테크앤서비스(주)의 특수가스 공급장치는 반도체, LCD, OLED 등 첨단 산업 생산라인에 필수적인 고순도 특수가스 및 케미컬을 안정적으로 공급하는 장치입니다. 삼성전자 등 대형 반도체 제조사의 생산 현장에 맞춤형으로 설계되어, 자동화된 모니터링과 안전 시스템을 통해 가스 공급의 연속성, 작업자의 안전, 생산 효율성을 극대화합니다. 장치의 유지보수 및 운영 서비스까지 원스톱으로 제공하여 고객의 생산라인 가동률과 품질 경쟁력을 높입니다.
국내 최초로 개발되어 세계 최초로 상용화된 ISO 특수가스 대용량 공급시스템은 반도체 웨이퍼 가공 공정에 필수적인 초고순도 및 독성 특수가스를 안전하고 안정적으로 공급합니다. 이 시스템은 원거리에서도 정밀한 가스 공급이 가능하며, 생산라인의 생산성 향상과 설비 투자비 절감, 그리고 안전성 강화를 동시에 실현합니다. 연간 수입대체 효과와 고용 창출, 그리고 국내 반도체 산업의 품질 및 가격 경쟁력 향상에 크게 기여하고 있습니다.
절단·용접 등 다양한 공정에 맞춤 설계된 혼합가스를 비롯해 의료·연구·반도체 분야에서 요구되는 특수가스를 생산합니다. 고객 니즈에 따라 다성분 혼합비율 조정이 가능하며 클린룸 기반 전처리 시스템으로 초고청정도를 실현합니다. ICP-MS 분석 및 자동화 설비를 통한 체계적 품질관리가 강점입니다.
케이씨인더스트리얼은 첨단 제조공정과 엄격한 품질관리를 바탕으로 반도체, 디스플레이 등 하이테크 산업에 필수적인 초고순도 특수가스를 안정적으로 생산·공급합니다. 헬륨, 질소 등 다양한 가스를 국내외 고객에게 맞춤형으로 제공하며, 지속적인 연구개발을 통해 업계 최고 수준의 순도와 안전성을 자랑합니다.
ASFLOW 고성능 금속필터는 반도체 공정용 특수가스 공급라인에서 미세입자 및 오염물질을 효과적으로 제거하는 필수 부품입니다. 금속분말 응용기술을 기반으로 높은 내구성과 청정도를 실현하였으며, 다양한 공정 환경에 맞는 맞춤형 설계가 가능합니다. 반도체, 디스플레이, 바이오 등 고청정이 요구되는 산업 현장에 최적화된 성능을 제공합니다.
에코솔루텍이 독자 개발한 연속수막형 습식전기집진기는 미세먼지, 황산화물, 질소산화물, 다이옥신 등 다양한 대기오염물질을 효율적으로 제거하는 첨단 집진 설비입니다. 순수 국내 원천 기술로 10년 이상의 상업 운전 실적을 보유하고 있으며, 연소가스 조성 변화에도 안정적으로 대응할 수 있습니다. 특수가스 및 온실가스 처리까지 적용 가능하여 석유·화학 플랜트와 토양오염 복원 현장 등 산업 전반에서 활용되고 있습니다.
한양테크앤서비스(주)는 반도체 생산라인에서 사용되는 특수가스 및 케미컬 공급장치의 정기 점검, 긴급 수리, 부품 교체, 시스템 업그레이드 등 전반적인 유지보수 서비스를 제공합니다. 현장 상주 엔지니어가 24시간 신속 대응하며, 체계적인 관리 시스템을 통해 장비의 안정적 운용과 사고 예방, 고객사의 생산성 향상을 지원합니다. 삼성전자 등 국내 주요 반도체 기업의 1차 협력사로서 신뢰받는 기술력을 보유하고 있습니다.
