클린룸환경  제품/서비스 검색 결과 : 2건

THC는 반도체 및 디스플레이 제조공정에서 요구되는 극한의 정밀도를 실현하는 온·습도 제어 시스템입니다. 클린룸 내 미세환경을 실시간으로 감지·제어하여 공정 안정성과 생산 효율성을 극대화하며, 후공정 HBM 적층 등 첨단 공정에도 적용되어 국내외 주요 반도체 기업에 공급되고 있습니다. 고도의 센서와 자동화 기술이 결합된 이 장비는 시장 내 과점적 지위를 확보하고 있으며, 고객사의 설비 증설과 함께 수요가 지속적으로 확대되고 있습니다.

MELCON CHR Series는 액상 냉각매체(항온수)를 이용해 웨이퍼 처리 장치 내 모터 및 유량부품 등의 정확한 온도를 유지하는 시스템입니다. 고도의 정밀성과 신뢰성을 바탕으로 반도체 제조공정의 Coater & Developer 설비 등에 적용되어 공정 품질과 생산 효율을 극대화합니다.