IGS(Gas Box)는 반도체 및 디스플레이 제조라인에서 특수가스를 안전하고 정밀하게 공급·제어하는 통합 가스공급장치입니다. 자동화된 제어시스템과 다중 안전장치를 탑재하여 생산현장의 효율성과 작업자의 안전성을 극대화합니다. 다양한 가스 종류와 라인 구성에 맞춘 커스터마이징이 가능하며 글로벌 대형 팹(Fab)에 납품되고 있는 검증된 솔루션입니다.
국내 최초로 개발된 질소 주입 방식의 LPM은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 이송 시 외부 오염과 수분에 의한 수율 저하를 획기적으로 방지합니다. 고순도 질소 환경을 구현하여 미세공정의 안정성과 생산성을 극대화하며, 글로벌 IDM(종합반도체기업)들이 채택하는 표준 장비로 자리잡았습니다. 일본산 대비 우수한 기술력으로 해외 시장에서도 경쟁력을 인정받고 있습니다.
코윈테크의 반도체 및 디스플레이 클린룸 공정자동화 시스템은 Clean #10~100 환경에서 Cassette·원장·회로기판 등 초고가 민감 부품을 안전하게 보관하고 이송하는 고청정 자동물류 솔루션입니다. 진동과 파티클 최소화를 통해 품질 저하 요인을 극소화하며 대기업 중심으로 Turn-key 방식 납품 실적을 확보하고 있습니다.
반도체 생산 현장의 효율성과 품질을 극대화하는 첨단 반도체 물류 자동화 시스템입니다. 웨이퍼, 칩, 패키지 등 다양한 반도체 공정 단계에서 필요한 이송·적재·분류 작업을 고속·고정밀 로봇 솔루션으로 구현하여 생산성 향상과 불량률 저감을 동시에 실현합니다. 고객 맞춤형 설계와 유연한 확장성을 바탕으로 대규모 클린룸 환경에도 최적화된 성능을 제공합니다.
반도체, OLED 등 첨단 IT 제조 현장에서 필수적인 11세대급 대형 진공이송로봇은 세계 최초·국내 유일의 기술력으로, 최대 3,000mm x 3,320mm 크기의 글래스 패널을 고진공·고온 환경에서 신속하고 정밀하게 이송합니다. 파티클 최소화 및 반복정밀도 보장으로 생산성과 품질을 극대화하며, 차별화된 구조 설계와 제어 기술을 바탕으로 글로벌 디스플레이 및 반도체 산업의 핵심 자동화 솔루션을 제공합니다.
