첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 진공 밸브로서 높은 기밀성과 내구성을 자랑합니다. 국내 시장 점유율 30% 이상을 기록하며 미세 공정 환경에서도 안정적으로 작동하여 생산 효율과 품질 향상을 지원합니다. 국산화된 핵심 원천 기술(VVC; Vacuum Variable Capacitor)이 적용되어 경쟁력을 확보하고 있습니다.
EFEM은 반도체 제조용 300mm 웨이퍼 이송장치로서, 클린룸 환경에서 웨이퍼를 안전하고 신속하게 각 공정 설비 간 이동시키는 자동화 솔루션입니다. 로봇 기반의 이송 시스템으로 오염 최소화와 생산성 향상에 최적화되어 있으며 삼성전자 등 국내외 주요 반도체 업체에 공급되고 있습니다.
Ionizer는 산업용 생산설비 및 클린룸 환경에서 발생하는 정전기를 신속하게 중화시켜, 정전기로 인한 제품 불량과 작업자 안전 문제를 예방하는 핵심 장치입니다. 고성능 이온 방출 기술을 적용하여 넓은 작업 공간에서도 균일한 정전기 제거 효과를 제공하며, 반도체·전자부품·디스플레이 등 정전기 민감 산업에서 필수적으로 사용됩니다.
JS-SemiPro 시리즈는 첨단 반도체 생산 공정에 최적화된 고성능 제조장비로, 미세공정 대응 자동화 시스템과 정밀 제어 솔루션을 탑재하여 생산 효율성과 품질 안정성을 극대화합니다. 고객 맞춤형 설계와 신속한 유지보수 지원으로 글로벌 반도체 산업에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.
데시칸트 표준퍼지 겸용 제습기는 일반 공정부터 보건 및 산업 현장의 다양한 환경에 적용 가능한 고성능 데시칸트 방식 제습기로서 안정된 품질과 우수한 성능으로 국내외 시장에서 경쟁력을 갖추고 있습니다. 퍼지 기능을 통해 습도 조절 효율성을 극대화하며 장기간 연속 운전에 적합하도록 설계되었습니다.
세라믹 Chuck은 웨이퍼 처리 공정에 최적화된 고강성·내열성 소재로 제작되어 반도체 제조라인에서 안정적인 웨이퍼 고정과 미세 이동을 지원합니다. 뛰어난 내구성과 화학적 저항성을 갖추고 있어 클린룸 환경에서도 오염 없이 사용 가능하며, 반복 작업 시에도 일관된 품질을 제공합니다.
