클러스터툴시스템  제품/서비스 검색 결과 : 1건

싸이맥스의 Transfer Chamber는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 진공 상태로 안전하고 정밀하게 이송하는 자동화 시스템입니다. EFEM, LPM(FOUP Opener), ATM Robot 및 Vacuum Robot 등 첨단 모듈을 통합하여, 고청정·고속·고신뢰성의 웨이퍼 이송을 실현합니다. 삼성전자, SK하이닉스 등 글로벌 반도체 기업에 공급되며, 생산 효율성과 수율 향상에 핵심적인 역할을 담당합니다.