월덱스의 쿼츠(Quartz) 부품은 고순도의 석영 소재를 활용하여 우수한 열적·화학적 안정성을 제공하며, 주로 반도체 전공정 장비 내에서 다양한 형태(튜브·디스크 등)로 사용됩니다. 이들 부품은 높은 정밀 가공 기술이 적용되어 장비 신뢰성과 생산 효율성을 크게 향상시키며 국내외 대형 팹(Fab)에 공급되고 있습니다.
반도체 Diffusion 및 LPCVD 공정에 사용되는 Quartz(쿼츠) 제품을 Class 1 환경에서 세정하는 서비스로, ICP-MS 성분 분석기와 DI 비저항 관리 등 첨단 설비를 활용해 미세 오염까지 제거합니다. 온·습도 및 폐액 관리 등 엄격한 품질 관리로 반도체 생산라인의 안정성과 수율 향상에 기여합니다.
원익큐엔씨의 Quartz Ware는 반도체 제조 전공정에서 웨이퍼의 보호 및 이송을 위해 사용되는 고순도 석영유리 부품입니다. 산화, 확산, 식각, 이온주입, 화학증착 등 다양한 공정에서 필수적으로 사용되며, 뛰어난 내열성과 내화학성을 자랑합니다. 세계 시장 점유율 1위를 기록하며, 삼성전자, SK하이닉스 등 글로벌 반도체 기업에 공급되고 있습니다.
파인세라믹스는 반도체 식각공정 등 전공정에 사용되는 소모성 부품(실리콘, 쿼츠 등)으로, 내열성·내식성·정밀가공성이 뛰어나 반도체 제조의 안정성과 생산성을 높입니다. SK엔펄스는 30년 이상의 연구개발을 통해 파인세라믹스 소재의 국산화와 품질 혁신을 이끌어왔으며, 국내외 반도체 제조사의 핵심 파트너로 자리매김하고 있습니다.