고효율 진공 증착 및 표면처리 공정을 구현하는 VACOS의 정밀 코팅장비는 자동화 시스템과 정교한 제어 기술이 결합되어 생산 효율성과 품질 안정성을 극대화합니다. 이 장비는 다양한 크기와 형태의 전자부품 및 금속소재에 최적화된 맞춤형 솔루션을 제공하며, 에너지 절약형 설계로 운영 비용까지 절감할 수 있습니다.
SPEED 200i는 SIC(실리콘 카바이드) 웨이퍼 전용 코팅 및 디벨로핑 장비로, 고성능 반도체 제조 공정에 최적화되어 있습니다. 정밀한 박막 코팅과 균일한 현상 처리를 통해 생산 효율성과 품질을 극대화하며, SIC WAFER 시장 확대에 대응할 수 있는 첨단 자동화 기능을 갖추고 있습니다. 연평균 30% 이상 성장하는 SIC WAFER 시장에서 경쟁력을 확보할 수 있도록 설계되었습니다.