초정밀진동제어  제품/서비스 검색 결과 : 1건

반도체 및 평판디스플레이 제조용 초정밀 장비에 적용되는 진동제어 시스템으로, 6자유도 진동 대응과 저주파수(10Hz 미만) 공진 제거 기능을 갖추고 있습니다. 피드백·피드포워드 제어로 이동 하중 시 흔들림을 극소화하며, 반복 정밀도가 매우 우수합니다. 모든 모델은 UNIT 타입으로 높이 191mm로 표준화되어 설치와 유지관리가 용이합니다.