초정밀스테이지  제품/서비스 검색 결과 : 3건

에어 베어링 스테이지는 초정밀 제어가 가능한 고성능 모션 플랫폼으로, 반도체·디스플레이·광학 등 나노 단위의 위치 정밀도가 요구되는 산업에 최적화되어 있습니다. 자체 개발한 컨트롤러, 드라이브, 모터와 통합 관리되어 뛰어난 안정성과 정밀도를 제공하며, 고속·고정밀 작업 환경에서 최고의 성능을 발휘합니다.

초정밀 위치 제어가 필요한 반도체, 디스플레이, 정밀 계측 산업에 최적화된 Nano급 Air Bearing Stage는 공기부상 방식으로 마찰과 진동을 최소화하여 나노미터 단위의 정밀한 직선 이동을 실현합니다. 고진공 환경 대응 및 대면적 샘플 처리 등 다양한 맞춤형 설계가 가능하며, 뛰어난 내구성과 반복 정밀도를 자랑합니다.

반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필수적인 초정밀 스테이지로, 나노미터 단위의 위치 제어와 반복 정밀도를 제공합니다. 에어 베어링, 리니어 엔코더, 나노모션 기술이 적용되어 고속·고정밀 작업 환경에 최적화되어 있습니다. 다양한 자동화 장비 및 연구개발 환경에서 신뢰성 높은 성능을 보장합니다.