Magnetic Fluid Seal은 자성유체를 활용한 진공 회전축 씰로, 초고진공 환경과 고속 회전에 최적화되어 있습니다. 오일 씰 대비 파티클 발생이 적고, 긴 사용 수명과 뛰어난 내구성을 자랑하여 반도체 및 디스플레이 장비의 신뢰성을 높입니다. 고청정 공정에 필수적인 부품입니다.
초고진공 환경에서 완벽한 실링 성능을 자랑하는 Metal Seal은 반도체 및 디스플레이 제조 장비의 핵심 진공 부품으로, 부식에 강하고 내구성이 뛰어나며 초고온 환경에서도 안정적인 성능을 제공합니다. 세계 최고 수준의 진공 실링 기술로 반도체 공정의 신뢰성과 생산성을 극대화합니다.
최첨단 Stacked X/Y/Z/T Vacuum Stage는 반도체 및 디스플레이, 바이오·의료 생산장비에 적용되는 고정밀 위치 제어 솔루션입니다. 초고진공 환경에서 안정적인 동작과 미세 위치 조정을 지원하며, 나노 단위의 정밀도를 구현하여 메트롤로지 및 하이브리드 본딩 등 다양한 산업 현장에서 활용됩니다. 견고한 구조와 뛰어난 내구성으로 장기간 사용에도 우수한 성능을 유지합니다.
반도체 장비, 진공 장비, 항공우주 산업 등 첨단 산업의 핵심 부품인 용접 벨로우즈를 전문적으로 생산합니다. 다이아프램 형태의 얇은 금속판을 연속 용접해 제작되며, 크기와 모양에 제한이 없고 원하는 만큼 수축·이완이 가능합니다. 우수한 기밀성과 내구성, 긴 수명을 자랑하며, 초고진공 환경에 최적화되어 있습니다. 유한요소분석법을 적용해 성능과 수명을 극대화하였으며, 철저한 생산관리로 불량률을 최소화하여 국내외 반도체 및 관련 산업에 신뢰받는 파트너로 자리매김하고 있습니다.
