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ATM Robot은 EFEM 및 Transfer Chamber 내에서 웨이퍼를 빠르고 정확하게 이동시키는 다관절(5축) 산업용 로봇입니다. 싸이맥스가 국내 최초로 국산화한 이 로봇은 미세먼지 발생 최소화를 위한 무윤활 구조와 고내구성 설계를 적용해 극한 환경에서도 안정적으로 작동하며 생산 라인의 완전 자동화를 지원합니다.

최신 공정 기술에 맞춘 이텍솔루션의 반도체 제조장비는 고정밀 자동화 시스템과 내구성 높은 설계로, 웨이퍼 가공 및 패키징 등 다양한 생산 라인에 최적화된 솔루션을 제공합니다. 국내외 대형 반도체 팹(Fab)에 공급되며, 효율적인 생산성과 품질 관리를 동시에 실현할 수 있도록 지원합니다.

KSTE의 정전척은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 안정적으로 고정하는 핵심 장비 부품으로, 국내 유일 일괄 생산라인을 통해 높은 품질과 신뢰성을 자랑합니다. 뛰어난 절연 성능과 내구성, 우수한 평탄도를 바탕으로 미세 패턴 공정에 최적화되어 있으며, 글로벌 반도체 제조사에서도 인정받는 첨단 기술력이 집약된 제품입니다.