Y-Coating 및 NP-Coating은 나노윈이 독자 개발한 특수 소재 기반의 첨단 코팅 기술로서 고온·고내식 환경에서도 뛰어난 성능을 발휘합니다. 이들 코팅이 적용된 부품은 CVD/PVD 등 극한 조건의 반도체 제조공정에서 긴 수명과 안정적인 품질 유지가 가능해져 업계 최고 수준의 경쟁력을 자랑합니다.
TES Dry Cleaning System은 화학적 습식 세정을 대체하는 건식 세정 기술로서 플라즈마 또는 가스를 활용하여 웨이퍼 표면의 오염물과 잔여물을 효과적으로 제거합니다. 이 시스템은 미세공정 적용에 최적화되어 있으며 공정 오염 최소화와 생산성 향상에 크게 기여합니다. 최신 반도체 라인에서 요구되는 청정 환경 유지와 불량률 감소를 위해 널리 사용됩니다.