최첨단 질화알루미늄 소재와 독자적 소결·정밀 가공 기술이 적용된 보부하이테크의 세라믹 히터는 반도체 전공정 및 후공정 장비에 최적화된 내구성과 열 효율성을 제공합니다. 까다로운 공정 환경에서도 안정적인 온도 제어와 긴 수명을 자랑하며, 글로벌 반도체 기업들이 신뢰하는 고성능 핵심 부품입니다.
반도체 및 디스플레이 공정에 사용되는 고내열·고강도 세라믹 플레이트로, AlN(질화알루미늄), SiC(실리콘카바이드) 등 첨단 소재를 정밀 가공하여 뛰어난 내구성과 평탄도를 자랑합니다. 미세 입자 패턴, 특수 연마, 마이크로 평탄도 등 고난도 가공기술을 적용해, 반도체 제조 장비의 신뢰성과 생산성을 극대화합니다.
AlN(질화알루미늄) 세라믹 히터는 반도체 공정에서 웨이퍼를 직접 핸들링하는 핵심 부품으로, 고순도·고내열성 소재를 사용하여 뛰어난 열전도성과 내구성을 자랑합니다. 정밀 온도 제어가 가능해 반도체의 품질과 생산성을 극대화하며, 모든 제조 공정은 첨단 설비를 통해 100% 사내에서 이루어집니다. 반도체, 디스플레이 등 첨단 산업의 까다로운 요구를 만족시키는 최고 수준의 신뢰성을 제공합니다.
미코세라믹스의 세라믹 정전척(ESC)은 반도체 제조 장비 내에서 웨이퍼를 정밀하게 고정하는 첨단 부품으로, 알루미나(Al₂O₃), 질화알루미늄(AlN) 등 고기능성 세라믹 소재를 적용하여 우수한 절연성과 내구성을 자랑합니다. 정밀한 온도 제어와 안정적인 웨이퍼 고정 성능을 제공해 반도체 미세공정의 생산성과 품질을 높이며, 글로벌 반도체 장비 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.
