국내 최초로 개발된 질소 주입 방식의 LPM은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 이송 시 외부 오염과 수분에 의한 수율 저하를 획기적으로 방지합니다. 고순도 질소 환경을 구현하여 미세공정의 안정성과 생산성을 극대화하며, 글로벌 IDM(종합반도체기업)들이 채택하는 표준 장비로 자리잡았습니다. 일본산 대비 우수한 기술력으로 해외 시장에서도 경쟁력을 인정받고 있습니다.
압력전환흡착(PSA) 기술을 기반으로 한 현대힘스의 산업용 산소 및 질소 발생기는 자체 개발된 핵심 분리공정과 제어시스템을 적용하여 고순도의 가스를 안정적으로 공급합니다. 에너지 효율성과 내구성이 뛰어나며 반도체·제약·식음료·금속산업 등 다양한 산업 현장에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
NXC Series 질소발생장치는 고순도의 질소를 연속적으로 생산하여 반도체 제조·레이저 가공·정밀전자 등 다양한 분야에서 안정적이고 경제적인 질소 공급을 실현합니다. 최신 분리막 및 PSA(Pressure Swing Adsorption) 기술이 적용되어 설치 공간이 적고 유지관리 비용이 낮으며 친환경적입니다.
밀성산업가스는 산소, 질소, 아르곤, 수소, 헬륨 등 5종의 고순도 산업용 가스를 자체 정제 및 혼합 설비를 통해 생산합니다. 반도체, 의료, 용접, 레이저 가공 등 다양한 산업 현장에서 요구되는 고품질, 고순도 가스를 안정적으로 공급하며, 고객 맞춤형 혼합가스 충전 서비스도 제공합니다. 첨단 설비와 엄격한 품질관리로 산업 현장의 효율성과 안전을 동시에 실현합니다.
고순도 질소는 반도체 제조공정 및 식품 보존 등 첨단산업에 필수적인 원재료로서 극저온 동결이나 불활성 분위기 조성에 최적화되어 있습니다. 신일가스는 최신 분리·정제 설비와 체계적인 품질관리를 통해 불순물 없는 질소를 대량 생산하여 안정적으로 공급합니다. 전국 사업장 네트워크와 전문 운송시스템을 기반으로 고객 요구에 맞춘 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
