반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필수적인 진공 환경을 구현하는 핵심 부품으로, 다산이엔지는 자체 개발한 고성능 진공용 게이트 밸브를 통해 안정적이고 정밀한 가스 차단과 누설 방지를 실현합니다. 우수한 내구성과 정밀 가공 기술을 바탕으로 반도체 생산 라인의 효율성과 신뢰성을 극대화하며, 다양한 산업 현장에 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
반도체 제조 공정에 최적화된 아이산의 VLF*M-***KF Series 고진공 게이트밸브는 우수한 내식성과 고온 환경 대응력을 갖추고 있습니다. 최소 15,000개 이상이 국내외 반도체 생산라인에 납품되었으며, 완벽한 기밀성과 청정도를 실현하여 파티클 유입 및 누설을 효과적으로 방지합니다. 안전장치와 개폐 상태 시각 확인 기능 등 첨단 설계로 장비 신뢰성을 극대화하며, 기존 제품 대비 수명 연장과 비용 효율성까지 제공합니다.
Vacuum Angle Valve, Bellows & O-ring Seal, ISO Flange, End Cap 등 반도체 및 디스플레이 공정에 필수적인 진공 부품을 설계·제작합니다. 고정밀 가공과 엄격한 품질관리를 통해 고진공 환경에서의 신뢰성과 내구성을 보장하며, 고객 맞춤형 사양 대응이 가능합니다.
SMART-HV 고속 압력/진공 릴리프 밸브는 탱크 및 저장소 내 압력 변동을 신속하게 조절하여 과압 및 진공 상태로부터 설비를 보호합니다. 가스 프리 커버가 적용되어 유지보수가 용이하며, 고효율 유체 제어와 안전성을 동시에 실현합니다. 석유화학, 발전, 해양플랜트 등 다양한 산업 환경에서 최적의 유체 흐름과 안전을 보장하는 첨단 솔루션입니다.
코리아벨로우즈가 제조하는 진공-앵글 밸브(공압-벨로우즈)-복동 제품은 고진공 환경에서 신뢰성 높은 개폐 성능을 제공하는 핵심 부품입니다. NW16~NW50 규격으로 다양한 산업 현장에 적용 가능하며, 내구성과 기밀성이 뛰어나 반도체, 디스플레이, 연구소 등에서 진공 라인의 안정적 제어를 실현합니다. 커스텀 제작이 가능해 고객의 다양한 요구에 맞춘 솔루션을 제공합니다.
Bellows Seal Valve는 (주)지에스티산업의 고유 기술로 제작된 용접형 벨로우즈를 적용하여, 고진공 환경에서의 가스 및 유체의 완벽한 차단과 제어를 실현합니다. ISO, NW, CF Port 등 다양한 규격으로 고객 맞춤 생산이 가능하며, 풀림 방지장치와 고진동 환경 대응 설계로 반도체, 디스플레이, 산업용 설비에 최적화된 성능을 제공합니다.