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 진공모듈  제품/서비스 검색 결과 : 1

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300mm Loadlock & Vacuum Transfer Module (VTM)(주)나인벨
반도체장비웨이퍼이송진공모듈자동화시스템클린룸
300mm Loadlock & Vacuum Transfer Module(VTM)은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 진공 상태로 안전하게 이송하고, 외부 오염을 차단하여 생산 효율성과 품질을 극대화하는 첨단 자동화 장비입니다. 고도의 정밀 제어와 신뢰성 있는 로봇 기술이 적용되어 대형 팹(Fab) 및 다양한 반도체 라인에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
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