진공로봇  제품/서비스 검색 결과 : 1건

Vactra 시리즈는 반도체 생산라인에서 웨이퍼를 고속·고정밀로 이송하는 8축 진공 로봇입니다. 독자적 4암(arm) 구조와 4절 링크 설계로, 두 장의 웨이퍼를 동시에 혹은 개별적으로 빠르게 처리할 수 있어 기존 듀얼 암 대비 생산성을 두 배 이상 향상시킵니다. Auto Wafer Centering(AWC) 기능을 탑재해 자동으로 웨이퍼 위치를 보정하며, 다양한 클러스터 및 리니어 체임버 구조에 유연하게 적용됩니다. 라온테크만의 특허 기술과 신뢰성 높은 유지보수 시스템으로 글로벌 반도체 제조 현장에서 인정받고 있습니다.