진공냉각장치  제품/서비스 검색 결과 : 1건

LICO 시리즈는 초정밀 열전반도체 기반의 냉각시스템으로, 반도체 및 LCD 제조공정에 최적화된 온도 제어 솔루션입니다. 컴팩트한 사이즈와 빠른 응답성, 뛰어난 정밀도를 자랑하며, 기존 냉동식 대비 80%의 소비전력 절감과 친환경 Thermo Electronic Module 적용으로 경제성과 친환경성을 동시에 실현합니다. 별도의 설비공간 없이 메인 장비 챔버 인접 설치가 가능해 배관 최소화와 신속한 온도 제어를 제공합니다.