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 정전척컨트롤러  제품/서비스 검색 결과 : 1

아카이브

제품/서비스명

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설명
ESC 컨트롤러 (Electrostatic Chuck Controller)(주)제파텍
반도체공정제어정전척컨트롤러고압특수전원웨이퍼처리장치클린룸솔루션
반도체 장비용 ESC 컨트롤러는 정전척 전원을 안정적으로 공급하여 웨이퍼 처리 과정의 효율성과 안전성을 극대화합니다. 최대 60kV까지 출력 가능한 고압특수 전원 기술이 적용되어 미세 공정 환경에서도 뛰어난 성능과 신뢰성을 보장합니다.
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