정밀스테이지  제품/서비스 검색 결과 : 3건

LPK 정밀스테이지는 미세 위치 제어와 고속 이동이 필요한 반도체·광학·전자 부품 제조 공정에 특화된 고정밀 모션 플랫폼입니다. 초고해상도의 위치 결정력과 진동 억제 기술을 적용하여 나노미터 단위의 정확한 제어가 가능하며, 다양한 커스터마이징 옵션으로 고객 맞춤형 솔루션 제공이 가능합니다.

Precision Table은 고정도의 위치 제어와 반복 정밀도를 실현하는 삼익THK의 첨단 메카트로닉스 솔루션입니다. 자체 개발된 리니어 모터와 고강성 LM가이드·볼나사를 결합하여 초고속·초저진동 이송이 가능하며 반도체·LCD 제조라인 및 검사장치 등 미세 공정 분야에 최적화되어 있습니다. 클린룸 환경 대응 설계와 다양한 커스터마이징 옵션을 제공해 고객 맞춤형 자동화 시스템 구축에 적합합니다.

반도체 및 디스플레이 제조 공정에 사용되는 초정밀 가공 스테이지로, 1나노미터(100만분의 1밀리미터) 단위의 위치 제어가 가능해 다양한 공정의 정밀도와 생산성을 극대화합니다. 삼성디스플레이, LG디스플레이 등 글로벌 기업의 OLED 공장 라인에 납품된 바 있습니다.