자동화모듈  제품/서비스 검색 결과 : 2건

EFEM은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 자동 로딩·언로딩 및 이송을 담당하는 핵심 모듈입니다. 클린룸 환경에 적합하게 설계되어 오염 방지와 생산 효율성을 극대화하며 다양한 반도체 장비와 호환되는 유연성을 제공합니다. 고속·고정밀 구동 시스템으로 최신 반도체 라인에 필수적인 솔루션입니다.

LM가이드 액츄에이터는 LM가이드와 볼나사, 서보모터 등을 일체화한 고정밀 직선운동 모듈로, 반도체·디스플레이 제조라인, 자동화 생산설비, 검사장비 등에서 고속·고정밀 이송이 필요한 공정에 사용됩니다. 컴팩트한 구조와 높은 반복정밀도, 설치의 용이성으로 스마트팩토리 및 첨단 산업 현장에 최적화된 솔루션을 제공합니다.