ECS 시스템은 정전기 집진 기술을 기반으로 한 첨단 대기오염방지 설비로, 반도체·디스플레이·화학 등 다양한 산업 현장에서 발생하는 유해가스와 미세먼지를 효율적으로 제거합니다. 고효율 복합소재를 적용하여 내식성과 내구성이 뛰어나며, 맞춤형 설계와 시공까지 원스톱 솔루션을 제공합니다.
YPS-04U는 반도체 제조공정에서 발생하는 유해 가스를 친환경적으로 처리하는 플라즈마 스크러버 시스템입니다. 용수(NPW) 사용량을 최소화하여 유지비용이 낮고, 고효율 플라즈마 분해 기술로 PFC계 등 다양한 공정가스를 효과적으로 제거합니다. 컴팩트한 설계와 모듈형 구조로 기존 설비에 쉽게 적용할 수 있으며, 글로벌 파운드리 기업에도 공급되는 영진아이엔디의 대표 친환경 장비입니다.
세계 최초로 개발된 무폐수 플라즈마 스크러버는 반도체, 태양광, 디스플레이 등 첨단 산업 공정에서 발생하는 유해가스를 고온 플라즈마 방식으로 처리하여 다양한 가스를 효율적으로 정화합니다. 기존 Burn & Wet 방식 대비 처리 용량과 가스 종류가 월등히 다양하며, 연간 2,365톤의 폐수를 절감할 수 있는 친환경 설비입니다. 고객 맞춤형 설계와 높은 신뢰성으로 글로벌 반도체 공급망에서 공식적으로 인정받고 있습니다.
다리온의 특허기술로 제작된 PE 이중관은 반도체와 디스플레이 공정에서 발생하는 유해 배기가스를 안전하게 처리하기 위한 핵심 배관 자재입니다. 기존 일본 수입 코팅 방식 대신, 폴리에스테르 소재의 이중 구조를 적용하여 내식성과 내구성이 뛰어나며, 클린룸 설계 및 시공에 최적화되어 있습니다. 자체 개발한 생산 설비까지 보유해 품질과 효율성을 동시에 확보하였습니다.
