UniScrubber는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 발생하는 각종 유해가스를 효과적으로 정화하는 첨단 가스 스크러버 장비입니다. 독자적인 국산화 기술로 개발되어, 고효율 유해가스 제거와 에너지 절감, 친환경 설계가 특징입니다. 삼성전자, SK하이닉스 등 국내외 주요 반도체 기업에 공급되며, 고객 맞춤형 설계와 신속한 유지보수 서비스로 높은 신뢰를 받고 있습니다.
GAIA-Ⅰ/Ⅱ는 반도체 및 디스플레이 제조공정에서 발생하는 유해 배출가스를 효율적으로 정화하는 첨단 스크러버 장비입니다. 플라즈마·연소·습식 등 다양한 방식으로 가스를 처리하며, 대형 설비에도 적용 가능한 고성능 모델입니다. 차별화된 기술력으로 PM(정기점검) 주기가 길고 유지보수 비용이 절감되며, 글로벌 반도체 제조사의 까다로운 환경 기준을 충족합니다. 친환경성과 안정성을 동시에 갖춘 이 장비는 생산라인의 안전과 효율 향상에 기여합니다.
MAT551SDE는 반도체 및 전자산업 현장에서 발생하는 산성 및 유기계 가스를 반건식 방식으로 처리하는 스크러버입니다. 반건식 흡수제와 고성능 촉매를 결합하여, SOx, NOx, VOC 등 다양한 유해가스를 효율적으로 제거합니다. 에너지 절감과 환경 규제 대응을 동시에 실현하는 친환경 설비로, 공정 안정성과 작업장 안전을 모두 만족시킵니다.
