웨이퍼 검사 시스템은 시료에 따라 주문형 광학 구성이 가능하며, 다양한 비전 및 스테이지 옵션을 통해 반도체 웨이퍼, PCB, LED/OLED 칩 등 미세 부품의 결함 검출, 양불 판정, 바코드 및 QR코드 검사 등 고정밀 자동화 검사를 지원합니다. Linear Lens Changer(LLC)로 배율을 손쉽게 변경할 수 있고, 고객 요청에 따라 자동 또는 수동 스테이지로 커스터마이징이 가능합니다.
100% 실시간 전수검사가 가능한 첨단 반도체 웨이퍼 결함 검사 시스템입니다. 기존 반도체 검사 장비의 EFEM 내부에 직접 장착할 수 있도록 설계되어, 공간 효율성과 안정성을 극대화하였으며, 슬림한 디자인과 견고한 구조로 고품질 검사를 제공합니다. 차세대 반도체 제조공정에서 품질관리와 생산성 향상에 기여하는 핵심 솔루션입니다.
웨이퍼 레벨 엑스레이 검사 장비(AXI)는 AI 기반 CT 기술과 다중 슬라이스 CT를 활용하여 반도체 및 패키징 내부의 공극, 기포, 미세 결함을 고속·고정밀로 검사합니다. AI 알고리즘을 적용해 기존 대비 4배 높은 생산성을 실현하며, 검사 이미지 횟수를 줄여 반도체 손상을 최소화합니다. AI 메모리, HBM, 저전력 D램 등 첨단 반도체 시장에서 필수적인 내부 검사 솔루션입니다.
WIND 시리즈는 반도체 웨이퍼 제조 공정에서 발생할 수 있는 미세 결함을 고속·고정밀로 자동 검출하는 첨단 광학 검사장비입니다. 독자 개발한 비전 검사 알고리즘과 고해상도 광학 시스템을 적용해 불량률을 최소화하며, 생산 효율성과 품질 관리를 극대화합니다. 삼성전자, SK하이닉스 등 글로벌 반도체 기업에 공급되며, 3세대까지 진화한 대표 제품입니다.
최첨단 광학·전자기술을 적용한 YCOM의 반도체 웨이퍼 검사장비는 미세 결함 검출과 품질 관리에 최적화된 솔루션을 제공합니다. 고속 자동화 시스템으로 생산 효율성을 극대화하며, 다양한 칩 제조 공정에 맞춘 커스터마이징 지원으로 글로벌 반도체 기업의 신뢰를 받고 있습니다.
IRIS는 반도체 제조 공정 중 웨이퍼 표면 상태를 정밀하게 계측하고 결함을 자동으로 판별하는 통합 솔루션입니다. 최신 광학 센서와 AI 기반 데이터 분석 기능을 접목하여 불량률 감소와 공정 효율 극대화를 지원합니다. 국내외 주요 팹(Fab)에 도입되어 신뢰받는 품질 관리 장비로 활용되고 있습니다.
NEXUS-WA1000은 첨단 광학 및 센서 기술을 적용하여 반도체 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼의 미세 결함, 오염, 표면 상태를 고속·고정밀로 자동 검사합니다. 전세계 주요 웨이퍼 메이커에 공급되며, 생산 효율성과 품질 향상에 기여하는 핵심 장비입니다. 다양한 크기의 웨이퍼 대응과 사용자 친화적 인터페이스를 갖추고 있어 스마트 팩토리 구축에도 적합합니다.
최첨단 광학 및 비전 검사기술을 적용한 WIND는 반도체 웨이퍼 표면의 크랙, 스크래치, 파티클 등 미세 결함을 고속·고정밀로 자동 검사합니다. 자체 개발한 알고리즘과 3D 모델링 기술을 통해 불량 검출 효율을 극대화하며, 글로벌 반도체 제조사에 공급되어 생산 품질 혁신을 이끌고 있습니다.
