웨이퍼핸들링로봇 제품/서비스 검색 결과 : 1건

아카이브	제품/서비스명	기업명	태그	설명
	ATM Robot (EFEM용 다관절 로봇)	(주)싸이맥스	산업용로봇다관절로봇웨이퍼핸들링로봇무인자동화설비첨단제조기술	ATM Robot은 EFEM 및 Transfer Chamber 내에서 웨이퍼를 빠르고 정확하게 이동시키는 다관절(5축) 산업용 로봇입니다. 싸이맥스가 국내 최초로 국산화한 이 로봇은 미세먼지 발생 최소화를 위한 무윤활 구조와 고내구성 설계를 적용해 극한 환경에서도 안정적으로 작동하며 생산 라인의 완전 자동화를 지원합니다.

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