반도체 전공정 자동화를 위한 EFEM ATM(Vacuum Transfer Module)/VTM(Robot Transfer Module)은 웨이퍼의 정밀 이송 및 처리 효율을 극대화하는 핵심 부품입니다. 고강성 프레임 구조와 첨단 제어박스 일괄 제작 역량을 바탕으로 Lam Research 등 글로벌 반도체 장비사에 공급되고 있으며, 고객 맞춤 사양 대응 및 리퍼비시 서비스까지 제공하여 생산성과 신뢰도를 높였습니다.
DNW Series는 클린룸 환경에서 사용되는 고정밀 웨이퍼 이송 로봇으로서 반도체 공정의 생산성 향상과 오염 방지에 최적화되어 있습니다. 다축 제어와 센서 기반 위치 정렬 기술로 빠르고 안전한 웨이퍼 이동을 실현하며, 다양한 크기의 웨이퍼를 유연하게 처리할 수 있습니다. 유지보수 편의성과 확장성이 우수하여 글로벌 팹라인에서 널리 활용됩니다.
EFEM은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 자동 로딩·언로딩 및 이송을 담당하는 핵심 모듈입니다. 클린룸 환경에 적합하게 설계되어 오염 방지와 생산 효율성을 극대화하며 다양한 반도체 장비와 호환되는 유연성을 제공합니다. 고속·고정밀 구동 시스템으로 최신 반도체 라인에 필수적인 솔루션입니다.
웨이퍼 로봇은 반도체 생산 라인에 최적화된 고정밀 산업용 로봇으로, 200종 이상의 다양한 로봇 라인업을 통해 삼성전자, SK하이닉스 등 국내외 반도체 제조 현장에 공급되고 있습니다. 신속한 대응력과 축적된 기술력으로 생산 효율성 및 품질 향상에 기여하며, 고객 맞춤형 자동화 솔루션을 제공합니다.
Scan Robot for 300mm Ion Implanter는 이온 주입기용으로 설계된 고정밀 스캔 로봇으로, 대구경(300mm) 웨이퍼의 안정적이고 반복적인 핸들링 및 위치 제어를 지원합니다. 빠른 동작 속도와 높은 내구성으로 생산라인의 효율성을 높이며 다양한 반도체 제조 환경에서 활용됩니다.
