OPUS3는 6인치, 8인치, 12인치 SEMI Standard 웨이퍼를 별도의 Change kit 없이 모두 처리할 수 있는 업계 유일의 범용 웨이퍼 프로버입니다. Universal probe card를 로드할 수 있으며, 첨단 열관리 솔루션(써말 척) 옵션을 통해 EDS 공정에서 최적의 신뢰성과 정밀도를 제공합니다. 고속, 고정밀, 자동화에 최적화된 설계로 메모리 및 SoC 등 다양한 반도체 테스트 환경에서 탁월한 성능을 발휘합니다.
OPUS SD는 6, 8, 12인치 웨이퍼를 모두 핸들링할 수 있는 고성능 웨이퍼 프로버로, Top Loader를 적용한 자동화 반도체 생산라인에 최적화되어 있습니다. 빠른 인덱스 타임과 높은 정확도를 자랑하며, 대량 생산 공정에서 생산성과 효율성을 극대화합니다. 다양한 반도체 칩의 전기적 특성 검증에 적합한 첨단 검사장비입니다.
OPUS Mini는 200mm(8인치) 웨이퍼 시장을 겨냥한 소형 웨이퍼 프로버로, 기존 대형 장비 대비 콤팩트한 설계와 혁신적인 구조를 자랑합니다. 척(Chuck) 구동 방식으로 신뢰성과 평탄도를 높였으며, 공간 효율성과 유지보수 편의성을 극대화했습니다. 중소형 반도체 생산라인 및 연구개발 환경에 적합한 고정밀 검사장비입니다.
