텔레센트릭 렌즈는 시료의 단차나 원근감으로 인한 왜곡 없는 선명한 2D 이미지를 제공하며, D.O.F 내 배율 변화가 없고 필드 높이와 각도에 관계없이 정밀 검사가 가능합니다. ST, HR, Long W.D, Large Format 등 다양한 타입으로 구성되어 있으며, 반도체 및 웨이퍼 정밀 측정, 정렬, 표면 검사 등 첨단 산업 현장에서 최적의 이미징 솔루션을 제공합니다.
Park NX20 300mm는 300mm 웨이퍼의 측정 및 분석을 위한 자동화 나노 계측 장비로, 반도체 및 디스플레이 산업에서 대형 샘플의 표면 형상과 결함을 정밀하게 분석할 수 있습니다. 첨단 자동화 기능과 높은 반복 정밀도를 제공하며, 대량 생산 환경에서도 신뢰할 수 있는 품질 관리와 공정 최적화를 지원합니다.
최첨단 자동화 솔루션을 적용한 SOLIS-SM3000은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 결함과 오염을 신속하고 정확하게 감지합니다. 고해상도의 광학 센서와 정밀 제어 시스템을 탑재하여 생산 효율성과 품질 관리를 극대화하며, 다양한 칩 사이즈 및 공정 환경에 최적화된 유연성을 제공합니다.