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웨이퍼정렬
제품/서비스 검색 결과 :
1
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기업명
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설명
OL-900n (5세대 오버레이 계측 장비)
(주)오로스테크놀로지
반도체계측
웨이퍼정렬
미세회로
생산수율
국산장비
OL-900n은 2020년 출시된 5세대 오버레이 계측 장비로, 반도체 전공정에서 하부·상부 패턴의 정렬 상태를 고정밀로 측정합니다. 300mm 웨이퍼 대응, 높은 반복재현성과 정확성, 신속한 고객 대응 서비스로 국내외 주요 반도체 제조사에 공급되고 있습니다. 미세화 공정 대응에 최적화된 장비입니다.
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