웨이퍼자동이송 제품/서비스 검색 결과 : 1건

아카이브	제품/서비스명	기업명	태그	설명
	EFEM (Equipment Front End Module)	로체시스템즈(주)	웨이퍼자동이송반도체장비클린룸솔루션제조자동화로봇시스템	EFEM은 반도체 제조용 300mm 웨이퍼 이송장치로서, 클린룸 환경에서 웨이퍼를 안전하고 신속하게 각 공정 설비 간 이동시키는 자동화 솔루션입니다. 로봇 기반의 이송 시스템으로 오염 최소화와 생산성 향상에 최적화되어 있으며 삼성전자 등 국내외 주요 반도체 업체에 공급되고 있습니다.

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