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AEGIS는 반도체 전공정에서 발생할 수 있는 미세 패턴 결함 및 이물(Particle)을 고해상도 광학 이미지 비교 방식으로 신속하게 검출하는 첨단 검사장비입니다. Bright-field와 Dark-field 모드를 모두 지원하며, 다양한 파장의 광원과 독자적인 이미지 처리 엔진을 탑재해 높은 정밀도와 생산성을 동시에 실현합니다. 글로벌 메모리 및 파운드리 업체에 공급되며, 경쟁사 대비 우수한 가격 경쟁력과 기술적 우위를 인정받고 있습니다.