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 웨이퍼세정기술  제품/서비스 검색 결과 : 1

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TES Dry Cleaning System (드라이 클리닝 시스템)(주)테스
드라이클리닝장비웨이퍼세정기술무습식공정청소기술클린룸설비장치첨단반도체제조
TES Dry Cleaning System은 화학적 습식 세정을 대체하는 건식 세정 기술로서 플라즈마 또는 가스를 활용하여 웨이퍼 표면의 오염물과 잔여물을 효과적으로 제거합니다. 이 시스템은 미세공정 적용에 최적화되어 있으며 공정 오염 최소화와 생산성 향상에 크게 기여합니다. 최신 반도체 라인에서 요구되는 청정 환경 유지와 불량률 감소를 위해 널리 사용됩니다.
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