HSN/고순도 불산은 반도체 제조 공정에서 산화막 식각 및 세정에 필수적으로 사용되는 초고순도의 화학 소재입니다. 솔브레인은 독자적인 정제 기술과 내재화된 원재료 공급망을 바탕으로, 글로벌 반도체 기업에 안정적으로 고품질의 HF를 공급합니다. 첨단 미세공정 대응이 가능한 높은 순도의 제품으로, 생산 효율성과 안전성을 동시에 제공합니다.
원익큐엔씨의 Quartz Ware는 반도체 제조 전공정에서 웨이퍼의 보호 및 이송을 위해 사용되는 고순도 석영유리 부품입니다. 산화, 확산, 식각, 이온주입, 화학증착 등 다양한 공정에서 필수적으로 사용되며, 뛰어난 내열성과 내화학성을 자랑합니다. 세계 시장 점유율 1위를 기록하며, 삼성전자, SK하이닉스 등 글로벌 반도체 기업에 공급되고 있습니다.
RHP200/150 Series는 메모리 및 로직 반도체 제조 공정에서 사용되는 첨단 급속 열처리 시스템입니다. 고온·고속의 정밀 온도 제어 기술을 바탕으로 웨이퍼의 균일한 열처리가 가능하며, 생산 효율성과 수율 향상에 기여합니다. 다양한 공정 조건에 맞춰 최적화된 솔루션을 제공하여 글로벌 반도체 시장에서 신뢰받는 장비입니다.
최첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 Quartz Ware는 산화, 식각, 이온 주입, 증착 등 다양한 공정에서 웨이퍼를 불순물로부터 보호하고 이송하는 용기로 사용됩니다. Tube류, Boat류, Pedestal류 등 다양한 형태로 제공되며 고순도 석영 소재를 활용해 내구성과 정밀도를 극대화하였습니다. 글로벌 반도체·디스플레이 업체에 공급되는 신뢰받는 품질의 핵심 소재입니다.
최첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 종형확산로(Diffusion Furnace)는 웨이퍼에 균일한 도핑 및 산화막 형성을 실현하는 고성능 장비입니다. 온도 제어, 진공 및 가스 치환 기술을 적용하여 뛰어난 품질의 박막 증착과 높은 생산성을 동시에 제공합니다. 글로벌 반도체 기업들의 까다로운 요구를 충족시키며, 신뢰성과 내구성이 입증된 국제엘렉트릭코리아의 대표 제품입니다.
세계 시장점유율 1위(약 42%)를 자랑하는 PSK의 PR Strip은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면의 감광액(PR)을 플라즈마 기반 드라이 방식으로 완벽하게 제거합니다. 삼성전자 등 글로벌 고객사에 공급되며, 미세화·고집적화되는 첨단 반도체 공정에서도 탁월한 수율과 생산성을 실현합니다.
BlueJay™는 반도체 미세공정에 최적화된 싱글 타입 저압 화학기상증착(LPCVD) 장비로, 웨이퍼 표면에 균일하고 고품질의 절연막 및 박막을 형성합니다. 세계 유수 반도체 소자업체에서 핵심 공정장비로 채택되고 있으며, DRAM 등 첨단 메모리 제조 라인에서 높은 신뢰성과 생산성을 인정받고 있습니다. 독보적인 미세막질 제어 기술과 에너지 효율성을 바탕으로 차세대 반도체 공정 혁신을 주도합니다.
MSX 1000은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼에 감광액을 균일하게 도포하는 고정밀 스핀 코터 장비입니다. 고속 회전 제어 기술과 정밀 분사 시스템을 적용해 미세 패턴 형성에 최적화되어 있으며, 다양한 웨이퍼 크기와 재질에 대응할 수 있는 유연한 설계로 생산 효율성과 품질을 동시에 제공합니다.
DICO2 GENERATOR는 반도체 웨이퍼 세정 공정에서 발생할 수 있는 정전기를 효과적으로 제거하기 위해 CO₂ 가스를 초순수에 용해시켜 비저항값을 조절하는 첨단 장비입니다. MFC(Mass Flow Controller)를 통해 CO₂ 주입량을 정밀하게 제어하며, 내장된 3nm 필터와 믹서 방식으로 파티클과 잉여가스 발생을 최소화합니다. 국산화 개발로 수입 의존도를 낮추었으며, 높은 신뢰성과 효율성을 자랑합니다.
최첨단 센서와 제어 모듈이 탑재된 BNS의 반도체 제조용 자동화기기는 웨이퍼 이송부터 검사까지 전 공정에 걸쳐 안정적인 운영과 높은 생산성을 제공합니다. 업계 표준 이상의 내구성과 호환성을 갖추고 있어 다양한 라인업 확장 및 맞춤 적용이 가능하며, 스마트 팩토리 구축에도 적합한 솔루션입니다.
