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 웨이퍼계측  제품/서비스 검색 결과 : 1

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옵티매스(OptiMass) – 반도체 웨이퍼 질량 계측 장비(주)코비스테크놀로지
반도체장비웨이퍼계측질량측정공정관리국산화
옵티매스는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 미세한 질량 변화를 마이크로그램(100만분의 1그램) 단위로 정밀하게 측정할 수 있는 첨단 계측 장비입니다. 증착 및 박막 공정 전후의 웨이퍼 무게를 실시간으로 비교하여, 공정의 정확성과 품질을 극대화합니다. SK하이닉스와 공동 개발된 이 장비는 외산 장비 대비 뛰어난 성능과 가격 경쟁력을 갖추고 있으며, 국내 최초로 국산화에 성공해 반도체 제조사의 선택 폭을 넓혔습니다.
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