Nand Flash 메모리 등 첨단 반도체 웨이퍼의 전기적 특성을 정밀하게 검사하는 핵심 소모품입니다. 티에스이는 MEMS 기반 초미세 공정과 독자적 설계 기술을 적용하여, 삼성전자·SK하이닉스 등 글로벌 칩 제조사에 고성능 Probe Card를 공급합니다. 모든 종류의 자동 검사장비(ATE)에 대응하며, 다양한 메모리 규격(DRAM, NAND 등)에 맞춘 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
세라믹 STF는 반도체 웨이퍼 테스트용 프로브 카드의 핵심 부품으로, 미세전기기계시스템(MEMS) 핀을 정밀하게 지지하며, 웨이퍼의 전기적 신호를 인쇄회로기판(PCB)으로 전달해 반도체 칩의 양품 및 불량품을 판정하는 첨단 테스트용 세라믹 기판입니다. 샘씨엔에스는 독자적 무수축 세라믹 기술과 고집적·무결점 공정 역량을 바탕으로, 글로벌 메모리 반도체(NAND, DRAM) 및 비메모리 웨이퍼 테스트 시장에서 높은 신뢰성과 경쟁력을 인정받고 있습니다.
웨이퍼 검사 시스템은 시료에 따라 주문형 광학 구성이 가능하며, 다양한 비전 및 스테이지 옵션을 통해 반도체 웨이퍼, PCB, LED/OLED 칩 등 미세 부품의 결함 검출, 양불 판정, 바코드 및 QR코드 검사 등 고정밀 자동화 검사를 지원합니다. Linear Lens Changer(LLC)로 배율을 손쉽게 변경할 수 있고, 고객 요청에 따라 자동 또는 수동 스테이지로 커스터마이징이 가능합니다.
첨단 반도체 제조 공정에 최적화된 SRF-2000은 고정밀 자동화 검사 기능을 제공하여 생산 효율성과 품질을 극대화합니다. 다양한 반도체 칩 및 웨이퍼의 결함을 신속하게 감지하며, 사용자 친화적 인터페이스와 데이터 분석 기능을 통해 스마트 팩토리 환경에 완벽하게 대응합니다. 고신뢰성 부품 적용으로 장기간 안정적인 운영이 가능합니다.
최첨단 광학 및 비전 검사기술을 적용한 WIND는 반도체 웨이퍼 표면의 크랙, 스크래치, 파티클 등 미세 결함을 고속·고정밀로 자동 검사합니다. 자체 개발한 알고리즘과 3D 모델링 기술을 통해 불량 검출 효율을 극대화하며, 글로벌 반도체 제조사에 공급되어 생산 품질 혁신을 이끌고 있습니다.
최첨단 반도체 생산 공정의 품질과 효율을 극대화하는 한라정밀엔지니어링의 반도체 검사장비는 미세 회로의 결함을 신속하고 정확하게 검출합니다. 고해상도 광학 시스템과 정밀 제어 기술이 결합되어, 반도체 웨이퍼 및 칩의 불량률을 최소화하고 생산성을 향상시킵니다. 다양한 반도체 제조 환경에 맞춘 맞춤형 솔루션을 제공하여 글로벌 반도체 산업의 경쟁력을 높이고 있습니다.
Park Wafer Series는 반도체 웨이퍼의 자동 결함 검사와 표면 특성 분석을 위한 전자동 원자현미경(AFM)입니다. 대형 웨이퍼(최대 300mm)까지 신속하고 반복 가능한 측정이 가능하며, 생산라인 인라인 계측에 최적화되어 있습니다. 반도체 제조 현장에서 품질 관리와 공정 최적화에 필수적인 첨단 계측 솔루션입니다.
WIND 시리즈는 반도체 웨이퍼 제조 공정에서 발생할 수 있는 미세 결함을 고속·고정밀로 자동 검출하는 첨단 광학 검사장비입니다. 독자 개발한 비전 검사 알고리즘과 고해상도 광학 시스템을 적용해 불량률을 최소화하며, 생산 효율성과 품질 관리를 극대화합니다. 삼성전자, SK하이닉스 등 글로벌 반도체 기업에 공급되며, 3세대까지 진화한 대표 제품입니다.
MEIS-K120은 반도체 웨이퍼 및 첨단 소재 표면의 원자층 구조와 조성·두께 분포를 나노미터 이하 해상도로 분석하는 중에너지 이온산란 분광기(Medium Energy Ion Scattering Spectrometer)입니다. 비행시간(Time of Flight) 기반 분석법으로 원자 한 층 수준까지 물성을 정밀하게 파악할 수 있어 차세대 소자 개발 및 품질보증 연구 현장에서 활용도가 높습니다.
