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웨이퍼가열
제품/서비스 검색 결과 :
1
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설명
ESC Heater (정전척 히터)
(주)엘케이엔지니어링
반도체공정
히터
온도제어
ESC히터
웨이퍼가열
반도체 공정 중 웨이퍼의 온도를 정밀하게 제어할 수 있도록 설계된 ESC Heater는 정전척 내부에 삽입되어 균일한 열 분포와 신속한 온도 조절을 실현합니다. 고신뢰성 소재와 첨단 설계 기술로, 반도체 제조 공정의 품질과 생산성을 높여줍니다.
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