에어베어링  제품/서비스 검색 결과 : 3건

에어 베어링 스테이지는 초정밀 제어가 가능한 고성능 모션 플랫폼으로, 반도체·디스플레이·광학 등 나노 단위의 위치 정밀도가 요구되는 산업에 최적화되어 있습니다. 자체 개발한 컨트롤러, 드라이브, 모터와 통합 관리되어 뛰어난 안정성과 정밀도를 제공하며, 고속·고정밀 작업 환경에서 최고의 성능을 발휘합니다.

초정밀 위치 제어가 필요한 반도체, 디스플레이, 정밀 계측 산업에 최적화된 Nano급 Air Bearing Stage는 공기부상 방식으로 마찰과 진동을 최소화하여 나노미터 단위의 정밀한 직선 이동을 실현합니다. 고진공 환경 대응 및 대면적 샘플 처리 등 다양한 맞춤형 설계가 가능하며, 뛰어난 내구성과 반복 정밀도를 자랑합니다.

Porous Type Air Bearing은 다공질 세라믹을 활용하여 균일한 공기층을 형성, 접촉 없이 부드럽고 안정적인 이동을 제공합니다. 고속·고정밀 장비에 적합하며, 마찰과 입자 발생을 최소화해 반도체 및 FPD 제조공정의 생산성과 신뢰성을 극대화합니다.