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식각기술
제품/서비스 검색 결과 :
2
건
아카이브
제품/서비스명
기업명
태그
설명
Glass Etching System (자동 유리 식각장비)
(주)에스티아이
디스플레이장비
LCD제조설비
식각기술
자동화설비
패널가공
TFT-LCD 및 첨단 디스플레이 패널 제조 공정에서 사용되는 자동 유리 식각장치로서 정밀한 화학식각 기술을 기반으로 대면적 기판의 균일한 가공 품질과 생산성 향상을 실현합니다. Sony 등 글로벌 업체에도 수출된 바 있으며, 다양한 크기의 패널 대응이 가능합니다.
PRO-RPS (플라즈마 활성종 공급장치)
인투코어테크놀로지(주)
반도체장비
플라즈마공정
웨이퍼처리
박막증착
식각기술
PRO-RPS는 자기유도결합(ICP) 방식의 첨단 플라즈마 발생 기술을 적용하여, 반도체 제조 공정에서 가스 분자에 고효율 에너지를 전달해 고에너지 활성종을 생성·공급합니다. 박막증착, 원자층 증착/식각, 표면처리 등 다양한 공정에서 균일하고 손상 없는 웨이퍼 처리를 실현하며, 원거리 공급으로 이온 손상을 최소화해 생산성과 품질 모두를 극대화합니다.
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