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최첨단 플라즈마 기술을 적용한 FPD Dry Etcher는 LCD, OLED 등 평판디스플레이 패널의 정밀 식각 공정에 최적화된 솔루션입니다. 고진공 프로세스 챔버와 RF 고주파 인가 방식으로 박막 증착층을 균일하게 식각하며, 대형 유리 기판에도 안정적으로 대응합니다. 자동화 시스템과 안전장치가 탑재되어 생산 효율성과 품질 향상을 동시에 실현합니다.

PLEX Etcher Series는 미세 공정에 최적화된 고성능 플라즈마 식각장비로, 정밀한 패턴 형성 및 균일한 식각 품질을 자랑합니다. 다양한 웨이퍼 크기와 소재에 대응하며, 생산 효율성과 수율 향상에 기여하는 자동화 솔루션과 클린룸 환경 적합 설계가 강점입니다. 글로벌 반도체 파운드리와 IDM 업체에서 신뢰받는 핵심 장비입니다.