첨단 스퍼터링(Sputtering) 기술을 적용한 알루미늄 휠로, 고품질 도장 및 표면처리 공정을 통해 내구성과 미려한 외관을 동시에 실현합니다. 자동차 산업의 엄격한 품질 기준을 충족하며, 내식성·내마모성이 우수해 고급 차량 및 산업용 휠에 적합합니다. 고객 맞춤형 색상 및 마감 처리가 가능하여 디자인 경쟁력까지 제공합니다.
순도 99.999% 이상의 고순도 금 또는 합금으로 제작된 스퍼터링 타겟은 반도체 웨이퍼 표면에 균일하고 정밀한 박막을 형성하는 데 사용됩니다. 다양한 형태(원형·평판 등)로 고객 맞춤 생산 가능하며 TS16949 품질 시스템과 엄격한 분석 공정을 통해 최고의 재현성과 안정성을 보장합니다.
ENTRON-EX2는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필수적인 박막 증착(스퍼터링) 장비로, 고진공 환경에서 다양한 금속 및 산화물 박막을 균일하게 증착할 수 있습니다. 대면적 기판 대응, 고생산성, 공정 안정성, 자동화 시스템 등 첨단 기술이 적용되어 있으며, 메모리 반도체, OLED, TFT-LCD 등 첨단 산업 분야에서 폭넓게 활용됩니다. ULVAC의 독자적 진공기술과 정밀 제어 시스템을 통해 고품질 박막 형성이 가능하며, 고객 맞춤형 옵션 제공으로 생산 효율성과 품질 경쟁력을 극대화합니다.
CREJU 시리즈는 스마트폰 및 TV용 플렉시블 OLED 패널 제조에 최적화된 클러스터형 스퍼터링 장비로, 고효율 박막 증착 공정과 균일한 박막 형성을 실현합니다. 첨단 진공 및 증착 기술을 적용해 대면적 OLED 생산라인에 안정적으로 공급되며, 생산성 향상과 품질 확보를 동시에 만족시키는 글로벌 시장 점유율 1위 제품입니다.
반도체와 디스플레이 제조 공정에서 필수적인 스퍼터링 타겟 및 증발원을 자체 개발·생산하여 공급합니다. 알루미늄 질화물(AIN), 알루미나(AI₂O₃), 탄소계 등 다양한 재질로 제작 가능하며 높은 순도의 균일한 박막 형성 능력과 안정적인 성능을 보장해 차세대 소자 제조에 적합합니다.
Ion Sputter Coater는 SEM(주사전자현미경) 시료 전처리를 위한 이온 스퍼터링 장비로, 미세한 금속 박막을 균일하게 증착하여 고해상도 전자현미경 관찰에 최적화된 표면을 제공합니다. 다양한 재료와 시료에 적용 가능하며, 정밀 분석 및 연구개발 분야에서 필수적인 장비입니다.
반도체 패키지의 전자파 차폐막 형성을 위한 인라인 스퍼터링 장비로, Cubicle in-line 방식의 컴팩트 레이아웃과 고속 생산 능력을 갖추고 있습니다. 120℃ 이하의 저온 스퍼터링이 가능하며, PI 테이프 및 MF-Seal을 활용한 패키지 핸들링, 유지보수가 용이한 구조, 대량 양산에 최적화된 설계로 반도체 패키징 공정의 효율성과 품질을 극대화합니다.
동광테크의 증착소재(TARGET)는 평면 및 튜브 타입으로 제공되며, 높은 순도와 정밀한 가공 정확도를 바탕으로 PVD(스퍼터링), 도금 등 첨단 제조공정에 사용됩니다. 반도체, PCB, 디스플레이, 필름 등 다양한 산업의 증착라인에 최적화된 소재로, 고객 맞춤형 합금 제조도 가능합니다.
인듐계 산화물 TCO 타겟은 고순도 인듐 주성분의 투명전도막(Transparent Conductive Oxide) 소재로, 디스플레이 및 태양광 패널 등에서 전기적 투명성과 우수한 내구성을 제공합니다. 스퍼터링 공정에 최적화된 고밀도 세라믹 형태로 생산되며, OLED·LCD·태양전지 등 차세대 전자소자 제조에 필수적인 핵심 소재입니다.
