미코세라믹스의 세라믹 정전척(ESC)은 반도체 제조 장비 내에서 웨이퍼를 정밀하게 고정하는 첨단 부품으로, 알루미나(Al₂O₃), 질화알루미늄(AlN) 등 고기능성 세라믹 소재를 적용하여 우수한 절연성과 내구성을 자랑합니다. 정밀한 온도 제어와 안정적인 웨이퍼 고정 성능을 제공해 반도체 미세공정의 생산성과 품질을 높이며, 글로벌 반도체 장비 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.
미코세라믹스는 Al₂O₃, Y₂O₃, AlN, YAG 등 다양한 특수 세라믹 소재를 바탕으로, 반도체 제조 공정에 사용되는 각종 소모성 세라믹 부품을 공급합니다. 고객의 요구에 맞춘 맞춤형 설계와 고품질 생산으로, 반도체 장비의 내구성·정밀성·공정 효율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 장비업체와 칩 메이커에 안정적으로 공급되고 있습니다.
유니온머티리얼의 Magnetron Stem은 전자레인지용 마그네트론에 사용되는 핵심 세라믹 부품으로, 세계 시장에서 품질과 기술력을 인정받아 산업자원부 세계일류상품에 선정된 바 있습니다. 내열성, 절연성, 내마모성이 뛰어나고, 글로벌 가전 및 전자업체에 공급되어 전자레인지, 통신, 의료 등 다양한 분야에 활용됩니다.
Electrostatic Chuck(ESC)는 반도체 식각(Etch) 공정에서 웨이퍼를 정전기력으로 고정하는 핵심 부품입니다. 고온·고압 환경에서도 안정적인 웨이퍼 고정 및 정밀 가공이 가능하며, 내화학성과 내열성이 뛰어난 세라믹 소재를 적용해 공정 효율과 생산성을 극대화합니다. 미세화·다층화되는 반도체 제조 환경에 최적화된 솔루션입니다.
전자부품 제조에 사용되는 첨단 Paste는 칩부품의 내·외부 전극, 세라믹 부품의 메탈라이징 전극, 저항 발열 전극 등 다양한 용도로 개발되었습니다. 고순도 원료와 정밀한 배합 기술로 뛰어난 전기적 특성과 신뢰성을 제공하며, IT·전자·디스플레이 산업의 핵심 소재로 활용됩니다.
