원익큐엔씨의 Quartz Ware는 반도체 제조 전공정에서 웨이퍼의 보호 및 이송을 위해 사용되는 고순도 석영유리 부품입니다. 산화, 확산, 식각, 이온주입, 화학증착 등 다양한 공정에서 필수적으로 사용되며, 뛰어난 내열성과 내화학성을 자랑합니다. 세계 시장 점유율 1위를 기록하며, 삼성전자, SK하이닉스 등 글로벌 반도체 기업에 공급되고 있습니다.
최첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 DS Quartz Semiconductor Parts는 고순도 석영유리(Quartz)를 정밀 가공하여 제작된 부품으로, 뛰어난 내열성과 내화학성을 자랑합니다. 웨이퍼 처리, 증착, 식각 등 다양한 반도체 장비에 적용되며, 미세 오염 방지와 긴 수명을 실현해 글로벌 반도체 기업들의 신뢰를 받고 있습니다.
최첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 Quartz Ware는 산화, 식각, 이온 주입, 증착 등 다양한 공정에서 웨이퍼를 불순물로부터 보호하고 이송하는 용기로 사용됩니다. Tube류, Boat류, Pedestal류 등 다양한 형태로 제공되며 고순도 석영 소재를 활용해 내구성과 정밀도를 극대화하였습니다. 글로벌 반도체·디스플레이 업체에 공급되는 신뢰받는 품질의 핵심 소재입니다.
반도체 제조 공정에서 사용되는 고순도 석영유리(Quartz) 기반의 프로세스 튜브는 Diffusion/LPCVD Furnace 등 열처리 장비에 필수적으로 적용됩니다. KKQ는 4인치부터 12인치까지 다양한 규격을 양산하며, 뛰어난 내열성·내화학성을 바탕으로 국내외 반도체 업계에서 품질을 인정받고 있습니다. 정밀 가공 및 엄격한 품질관리를 통해 미세 공정에도 적합한 신뢰성을 제공합니다.
