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산화확산장치
제품/서비스 검색 결과 :
1
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설명
ILSAN 진공 열처리 퍼니스
(주)일산
진공열처리기
산화확산장치
실리콘웨이퍼가공
에너지효율설비
반도체생산라인
ILSAN 진공 열처리 퍼니스는 고순도의 분위기 제어와 정확한 온도 분포를 구현하여 실리콘 웨이퍼의 산화·확산 등 핵심 열처리 공정을 지원합니다. 에너지 효율성과 안전성이 뛰어나며 대규모 양산라인에도 적합합니다.
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