산화이트륨  제품/서비스 검색 결과 : 3건

동양엠더블유가 자체 개발한 Y₂O₃(산화이트륨) 분말은 반도체 및 디스플레이 공정 챔버용 부품의 프리즈마용사코팅에 사용되는 고순도 희토류 소재로, 국내 최대 생산규모와 독보적 기술력을 자랑합니다. 일본·중국산에 의존하던 소재를 국산화하여 원가 경쟁력과 품질을 동시에 확보했으며, 대기업과의 장기 거래 및 맞춤형(Customizing) 생산이 가능한 것이 특징입니다. 최근에는 중국 등 해외 시장에도 수출을 확대하고 있습니다.

반도체·디스플레이 식각장비 내 플라즈마 코팅용으로 개발된 초미세(15㎛ 미만) 고유동성 산화이트륨(Y₂O₃) 분말은 뛰어난 내플라즈마 특성과 고밀도 피막 형성 능력을 자랑합니다. 기존 수입에 의존하던 소재를 국산화하여 국내외 공급망을 구축했으며, 높은 순도와 균일한 입자 크기로 식각장비 부품 보호 및 수명 연장에 탁월한 효과를 제공합니다.

그린리소스의 Y₂O₃(산화이트륨) 내플라즈마 보호코팅은 반도체 및 디스플레이 식각 장비의 핵심 부품에 적용되어 플라즈마 환경에서 탁월한 내식성과 고내구성을 제공합니다. 물리기상증착(PVD) 공정으로 구현되며, 산업통상자원부 장관상을 수상한 바 있는 초고밀도 특수 코팅 기술로, 미세공정과 대면적 패널 생산에 최적화된 품질과 신뢰성을 자랑합니다.