MAX-7은 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 발생하는 산성가스류(HF, HCl 등)를 초정밀·실시간으로 감지하는 고성능 모니터링 시스템입니다. 고감도 센서와 신속한 데이터 처리 기술을 적용해, 미량의 산성가스도 빠르게 검출하여 공정 안전성과 제품 품질을 극대화합니다. 유지보수가 간편하고, 다양한 산업 환경에 맞춤 적용이 가능합니다.
최첨단 플라즈마 화염 기술을 적용한 플라즈마 가스 스크러버는 반도체 전공정에서 발생하는 온실가스(PFCs, 산성가스 등)와 유해가스를 3,000℃ 이상의 고온 플라즈마로 대용량·고효율 처리합니다. 최신 저전력 설계와 대용량 처리 기술을 접목해, 미세먼지 및 온실가스 저감에 탁월한 성능을 발휘하며, 반도체·디스플레이·태양광 산업 현장의 대기환경 개선에 최적화된 솔루션을 제공합니다.