최첨단 정밀 가공 기술로 제작된 일진저스템의 Wafer Spin Chuck은 반도체 세정 및 코팅 공정에서 웨이퍼를 고속 회전시키며 균일하게 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 내구성과 정밀도를 모두 갖춘 이 부품은 다양한 크기의 웨이퍼에 대응하며 생산 효율과 품질 향상에 기여합니다.
Wafer Chuck Control 시스템은 6인치부터 12인치까지 다양한 크기의 웨이퍼를 정밀하게 제어하며 Hot & Cold Chuck 옵션을 통해 고온·저온 환경에서 안정적인 웨이퍼 테스트가 가능합니다. 매뉴얼 프로브 척 및 컨트롤러가 포함되어 있어 반도체 제조공정의 생산성과 품질 향상에 기여합니다.
Spin Processor는 반도체 웨이퍼 표면에 균일한 박막을 형성하거나 세정액을 분사해 오염을 제거하는 고속 회전식 장비입니다. 정밀한 회전 제어와 다양한 용액 분사 기능을 통해 미세 패턴의 균일한 코팅 및 세정이 가능하며, 생산 라인의 자동화와 공정 효율성을 크게 높여줍니다. 반도체, 디스플레이 등 첨단 산업 분야의 핵심 공정에 최적화된 솔루션입니다.
Electrostatic Chuck(ESC)는 반도체 식각(Etch) 공정에서 웨이퍼를 정전기력으로 고정하는 핵심 부품입니다. 고온·고압 환경에서도 안정적인 웨이퍼 고정 및 정밀 가공이 가능하며, 내화학성과 내열성이 뛰어난 세라믹 소재를 적용해 공정 효율과 생산성을 극대화합니다. 미세화·다층화되는 반도체 제조 환경에 최적화된 솔루션입니다.
세라믹 Chuck은 웨이퍼 처리 공정에 최적화된 고강성·내열성 소재로 제작되어 반도체 제조라인에서 안정적인 웨이퍼 고정과 미세 이동을 지원합니다. 뛰어난 내구성과 화학적 저항성을 갖추고 있어 클린룸 환경에서도 오염 없이 사용 가능하며, 반복 작업 시에도 일관된 품질을 제공합니다.
최첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 정전척(ESC)은 웨이퍼를 정밀하게 고정하고, 열 제어 및 정전기 제어 기능을 통합한 핵심 부품입니다. (주)엘케이엔지니어링은 ESC 본체, ESC Plate, ESC 전극, ESC Heater 등 다양한 설계와 3D 가공, 초음파·열화상·TC wafer 검사 등 첨단 품질관리 기술을 적용하여, 고객 맞춤형 고성능 ESC를 제공합니다. 세라믹, AlN, SiC 등 다양한 소재와 미세 입자 패턴 가공, 특수 연마, 마이크로 평탄도 가공 등 차별화된 기술력을 보유하고 있습니다.
국내 최초로 30nm급, 300mm 웨이퍼 재생 기술을 확보한 에이텍솔루션의 Wafer Recycle 서비스는 고객 맞춤형 웨이퍼 제작과 고품질 26nm 대응 기술을 제공합니다. Class 1 Zone의 첨단 제작 환경에서 CMP 및 나노세정 공정을 통해 월 20,000장 이상의 웨이퍼 재생이 가능하며, 반도체 제조 공정의 효율성과 원가 절감에 기여합니다.
Spin-on Carbon(SOC)은 반도체 리소그래피 공정에서 하드마스크로 사용되는 첨단 소재로, 뛰어난 평탄화 특성과 내열성, 정밀한 패턴 전사 능력을 갖추고 있습니다. SK머티리얼즈퍼포먼스의 SOC는 고순도 카본 기반의 고분자 소재로, 미세회로 형성 시 패턴 왜곡을 방지하고, 다양한 공정 환경에 안정적으로 적용됩니다. 차세대 반도체 및 디스플레이, 이미지센서 등 다양한 첨단 산업에 적용 가능한 고부가가치 소재입니다.
HBM3E Wafer Tester는 고대역폭메모리(HBM) 생산 공정에서 웨이퍼 단위의 전기적 특성과 품질을 정밀하게 검사하는 첨단 장비입니다. 최신 HBM3E 규격을 지원하며, 대용량 데이터 처리와 고속 신호 측정이 가능해 차세대 AI·고성능 컴퓨팅용 메모리 생산에 필수적입니다. SK하이닉스 등 글로벌 반도체 기업에 공급되어 신뢰성과 생산성 향상에 기여합니다.
