Precision Table은 고정도의 위치 제어와 반복 정밀도를 실현하는 삼익THK의 첨단 메카트로닉스 솔루션입니다. 자체 개발된 리니어 모터와 고강성 LM가이드·볼나사를 결합하여 초고속·초저진동 이송이 가능하며 반도체·LCD 제조라인 및 검사장치 등 미세 공정 분야에 최적화되어 있습니다. 클린룸 환경 대응 설계와 다양한 커스터마이징 옵션을 제공해 고객 맞춤형 자동화 시스템 구축에 적합합니다.
한솔아이원스는 세계 1위 반도체 장비 기업 어플라이드머티어리얼즈에 공급하는 식각(Etching) 공정용 핵심 부품을 자체 설계·가공·코팅 기술로 생산합니다. 이 부품은 웨이퍼에서 불필요한 부분을 정밀하게 제거하는 데 사용되며, 초정밀 가공과 내구성, 오염 저감 특화 코팅으로 반도체 제조의 수율과 품질 향상에 기여합니다. 글로벌 Top-tier 고객사와의 협업 경험을 바탕으로 고난이도의 사양 대응력과 신뢰성을 자랑합니다.
반도체 제조 공정에서 사용되는 고순도 석영유리(Quartz) 기반의 프로세스 튜브는 Diffusion/LPCVD Furnace 등 열처리 장비에 필수적으로 적용됩니다. KKQ는 4인치부터 12인치까지 다양한 규격을 양산하며, 뛰어난 내열성·내화학성을 바탕으로 국내외 반도체 업계에서 품질을 인정받고 있습니다. 정밀 가공 및 엄격한 품질관리를 통해 미세 공정에도 적합한 신뢰성을 제공합니다.
나노윈의 Nano 구조 Plasma 코팅은 반도체 장비 부품 표면에 균일하고 내구성 높은 나노 두께의 플라즈마 코팅막을 형성하여, 부품의 내식성과 내열성을 극대화합니다. 이 기술은 미세 오염 방지와 공정 효율 향상에 탁월하며, 고객사의 다양한 공정 조건에 맞춘 맞춤형 코팅 솔루션을 제공합니다. 글로벌 반도체 제조사들이 신뢰하는 고부가가치 표면처리 기술입니다.
세계 최대 규모의 단일 커넥터 생산공장에서 제조되는 연호엠에스의 커넥터는 정밀성과 내구성을 바탕으로 다양한 전자기기 및 산업용 장비에 적용됩니다. 첨단 자동화 설비와 엄격한 품질관리 시스템을 통해 고신뢰성, 고효율성을 실현하며, 글로벌 반도체·전자산업 고객사에 공급되고 있습니다.
특수 표면 가공 기술이 적용된 엑스팬더 롤은 태양광 및 반도체 Multi wire saw 장비 등 첨단 산업 분야에서 사용됩니다. Main Roller 제작·수리·우레탄 코팅·홈 가공(그루빙)이 가능하며 Wire spool의 정위치 도달을 위한 Guide 역할을 수행해 생산장비의 효율성과 정밀도를 높입니다.
ARTRO ROBOT ACS Series는 클린룸 환경에 적합한 상부 커버 밀폐형 볼 스크류 구동 직교 로봇입니다. 미세먼지 및 오염 방지가 필수적인 반도체·바이오·정밀전자 제조공정에서 안정적인 동작과 청정도를 보장하며 고신뢰성 부품 적용으로 장시간 연속 운전에도 뛰어난 내구성과 정밀도를 자랑합니다.
